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中国芯突破！纳米压印光刻机成功交付，国产芯片超车直击西方要害

“即便公开图纸，中国也造不出EUV光刻机。”三年前ASML公司CEO这句话曾深深刺痛了中国技术人员的心。如今，中国以自主创新的纳米压印光刻机实现了有力回应。这款型号为PL-SR的纳米压印光刻设备，支持线宽

说到芯片，无论智能手机、汽车，还是数据中心、云家居，这颗微小“硅心脏”已经渗透你我日常。但偏偏，这核心设备的关键——光刻机，长期被荷兰ASML、日本佳能等国际巨头死死把持。

说起芯片，现在谁家没几样离不开它的玩意，从手机到汽车，从数据中心到智能家居，全都得靠这小小一片硅片撑场子。可偏偏制造芯片的核心设备——光刻机，长久以来被荷兰的ASML和日本的佳能这些巨头牢牢把控着。

2025年8月1日，杭州一家叫璞璘科技的公司交出了一台黑科技设备，名字叫PL-SR纳米压印光刻机。这台机器能让中国的芯片制造精度达到10纳米以下，直接对标荷兰ASML的高端光刻机。芯片厂用它生产存储芯片时，成本能比进口设备低四成，性能却差不多。普通人在用手机电

2025年8月1日，中国首台半导体级纳米压印光刻机交付，璞璘科技PL-SR设备正式落地。这把纳米印章线宽突破10nm，残余层误差小于2nm，关键指标碾压日本佳能旗舰机。日本佳能垄断的赛道被中国团队用5年硬核突围，杭州璞璘科技这台PLSR设备直接让模板压出10纳

传统光刻通过光学投影将电路图案转移到涂有光刻胶的晶圆上，而纳米压印光刻（NIL）基于机械转移原理，像盖章一样使用模板通过机械力直接将图案压印到涂有压印胶的晶圆表面，无需光学曝光过程。

罗马球员托马索-巴尔丹齐在英格兰集训期间接受了迪马奇奥的采访，谈到了自己在球队的感受、对新赛季的展望以及对国家队梦想的看法。这位2003年出生的年轻球员明确表示，他在罗马过得非常开心。

说到芯片制造，大家第一个想到的肯定是那台价值2亿美元的EUV光刻机。荷兰ASML公司垄断了全球EUV市场，而且对中国实施严格禁运。但璞璘科技选择了一条完全不同的路——纳米压印技术（NIL）。如果说EUV光刻是用极紫外光"雕刻"电路图案，那么纳米压印就像是"盖印

当半导体制程进入 “原子级雕刻” 时代，EUV 光刻的天价门槛与技术封锁让全球芯片产业陷入焦虑。中国首台半导体级步进式纳米压印光刻机（PL-SR）的交付，像一把突然插入僵局的钥匙 —— 它不仅打开了国产装备自主化的门缝，更让人窥见一条 “非对称突破” 的新路径